改善离子注入的方法

摘要

本发明提供一种改善离子注入的方法，属于离子注入技术领域，其可解决现有的离子注入设备离子束的稳定性和均匀性差的问题。本发明的离子注入设备离子束的稳定性和均匀性差的问题，通过检测不同减速电压下束流密度和束流分布不均匀度，获得工作减速电压，使离子注入设备在工作减速电压下工作，保证了离子束的均匀性和稳定性，从而保证每个批次和不同批次之间处理的基材的性能保持相对一致。

主权项

一种改善离子注入的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.检测不同减速电压下的束流密度和束流分布不均匀度；S2.根据所述束流密度和束流分布不均匀度获得工作减速电压；S3.在工作减速电压下进行离子注入；其中，所述检测不同减速电压下的束流密度和束流分布不均匀度，包括以下步骤：S11.设定参数初始值设定减速电压的初始值为V₀，束流密度ρ₀、束流不均匀度x₀、减速电压的优化范围为L，束流密度的控制误差范围为p，束流不均匀度控制小于q；S12.初步确定减速电压优化的出发点在减速电压为的V₀±L范围内取m个不同的减速电压测试点，分别测定m个测试点的束流密度ρ_g和束流不均匀度x_g。