| 摘要 |
構成要素上にコーティング系を形成するプロセス及びシステム。構成要素上にコーティング系を形成するプロセスは、構成要素上の表面に向けて進行中のコーティング粒子が方向転換されるのを促進する位置に装置を配置するステップを含む。表面は、構成要素の一部によって妨げられてコーティング粒子の供給源から表面までの見通し線が制限される。次いで、コーティング粒子は、構成要素の表面上に堆積される。コーティング粒子は、最初に、初期粒子移動方向で移動して、表面に対して最終粒子移動方向で構成要素上の表面に向けて装置により方向転換される。コーティング粒子の供給源からの見通し線が、構成要素の表面に対して３０度未満の角度であり、最終粒子移動方向が、構成要素の表面に対して３０度以上の角度である。【選択図】 図３ |
