Akustische Schichtvolumenresonatoren mit rückseitigen Durchkontaktierungen

摘要

Eine akustische Schichtvolumenresonator(FBAR)-Anordnung umfasst einen FBAR und eine Durchkontaktierung, die im Wesentlichen direkt unter dem FBAR angeordnet ist. Die Durchkontaktierung ist in thermischem Kontakt mit dem FBAR. Eine Mehrzahl von Durchkontaktierungen kann umfasst sein. Die Durchkontaktierung(en) dienen dazu, Wärmeenergie, die von der FBAR-Anordnung während des Betriebs erzeugt wird, abzuleiten.