| 摘要 |
유체의 입구측 통로(8)와, 입구측 통로(8)의 하류측에 접속된 압력식 유량 제어부(1a)를 구성하는 컨트롤 밸브(3)와, 컨트롤 밸브(3)의 하류측에 접속된 열식 유량 센서(2)와, 열식 유량 센서(2)의 하류측에 연통되는 유체 통로(10)에 개재 설치된 오리피스(6)와, 컨트롤 밸브(3)와 오리피스(6) 사이의 유체 통로(10)의 근방에 설치한 온도 센서(4)와, 컨트롤 밸브(3)와 오리피스(6) 사이의 유체 통로(10)에 설치한 압력 센서(5)와, 오리피스(6)에 연통되는 출구측 통로(9)와, 압력 센서(5)로부터의 압력 신호 및 온도 센서(4)로부터의 온도 신호가 입력되고, 오리피스(6)를 유통하는 유체의 유량값(Q)을 연산함과 아울러 연산한 유량값과 설정 유량값의 차가 감소하는 방향으로 컨트롤 밸브(3)를 개폐 작동시키는 제어 신호(Pd)를 밸브 구동부(3a)에 출력하는 압력식 유량 연산 제어부(7a) 및 열식 유량 센서(2)로부터의 유량 신호(2c)가 입력되고 상기 유량 신호(2c)로부터 오리피스(6)를 유통하는 유체 유량을 연산 표시하는 유량 센서 제어부(7b)로 이루어지는 제어부(7)로 구성한 유량 모니터 부착 압력식 유량 제어 장치. |
