一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构

摘要

本发明提供了一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长保温结构，采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，热屏包括水平式热屏和垂直式热屏，各屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑；不锈钢桶与垂直式热屏之间由钼板圆筒间隔分为内、外两层填充区域，内层填充区填充氧化锆（ZrO₂）空心泡壳，外层填充区采用垂直钼板间隔成多个垂直小隔间结构，多个小隔间以圆筒轴心呈中心对称结构；根据上炉的冷心偏移方向，在偏移方向一侧的小隔间中填充氧化锆泡壳或插入与该处小隔间同宽的钼板条，加强该侧的保温效果，使冷心向偏移方向的反方向移动，保证冷心位于坩埚的中心位置，提高炉内温场径向的均匀分布，达到方便引晶、减少晶体内部热应力，避免晶体粘锅的效果。

主权项

一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长保温结构，设置于不锈钢桶内，其特征是：采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，所述热屏包括水平式热屏和垂直式热屏；所述水平式热屏为中心开孔的圆环形；所述垂直式热屏为竖直圆筒状，可容纳水平式热屏、加热器和坩埚；不锈钢桶与垂直式热屏之间由钼板圆筒间隔分为内、外两层填充区域，内层填充区填充氧化锆空心泡壳，外层填充区采用垂直钼板间隔成多个垂直小隔间结构，多个小隔间以圆筒轴心呈中心对称结构；根据上炉的冷心偏移情况，在偏移方向一侧的小隔间中填充氧化锆泡壳或插入与该处小隔间同宽的钼板条，使冷心向上炉偏移方向的反方向移动。