| 发明名称 |
FORMING A PROTECTIVE LAYER ON A MOLD AND MOLD HAVING A PROTECTIVE LAYER |
| 摘要 |
보호 층을 갖는 몰드를 형성하는 방법은 적어도 하나의 실질적으로 평평한 표면을 갖는 몰드 기판을 형성하는 단계, 상기 적어도 하나의 실질적으로 평평한 표면 위에 몰드 보호 재료의 층을 배치하는 단계, 및 상기 몰드 보호 층을 통과하여 상기 적어도 하나의 실질적으로 평평한 표면 내부로 다수의 캐비티들을 에칭하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101599075(B1) |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
| 申请号 |
KR20100094944 |
申请日期 |
2010.09.30 |
| 申请人 |
인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 |
发明人 |
존스, 브래들리, 폴;닉커보커, 사라, 에이취.;볼란트, 리차드, 폴 |
| 分类号 |
H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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