棒状透镜阵列以及使用了棒状透镜阵列的等倍成像光学装置

摘要

提供一种即使在产生了组装误差或随时间发生的变化的情况下也能将光量斑抑制到最低限度的棒状透镜阵列以及等倍成像光学装置。棒状透镜阵列的特征在于：在将R和r₀的关系设为R≧r₀≧0.8R，并将所述棒状透镜的折射率分布近似为n(r)²＝n₀²{1-(g·r)²}时，用m＝X₀/2R定义的重叠度m在2.55以上4以下，用n₀·g·r₀表示的棒状透镜的开口角在0.1以上不到0.22。另外，r是自光轴的距离，n(r)表示自光轴的距离r的位置处的折射率，n₀表示棒状透镜的中心折射率，g表示折射率分布常数，X₀表示视野半径且X₀＝-r₀/cos(Z₀π/P)，r₀表示棒状透镜的有效半径，Z₀表示棒状透镜的长度，P表示棒状透镜的周期长度且P＝2π/g。

主权项

一种棒状透镜阵列,其由具有在半径方向上的折射率分布的多个棒状透镜光轴相互平行地以2R的间距排列而成，其特征在于，在将R和r₀的关系设为R≧r₀≧0.8R，并将所述棒状透镜的折射率分布近似为n(r)²＝n₀²{1‑(g·r)²}时，用m＝X₀/2R定义的重叠度m在2.55以上4以下，用n₀·g·r₀表示的棒状透镜的开口角在0.1以上不到0.22，其中，r是距光轴的距离，n(r)表示距光轴的距离为r的位置处的折射率，n₀表示棒状透镜的中心折射率，g表示折射率分布常数，X₀表示视野半径且X₀＝‑r₀/cos(Z₀π/P)，r₀表示棒状透镜的有效半径，Z₀表示棒状透镜的长度，P表示棒状透镜的周期长度且P＝2π/g，光量斑ΔE在10％以下，使用空间频率为6线耦/mm的格子图案测定的分辨率MTF在85％以上。