| 发明名称 | 一种超导分形纳米线单光子探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种超导分形纳米线单光子探测器及其制备方法，所述单光子探测器包括：衬底、纳米线、纳米天线、氢硅倍半环氧乙烷层以及银反射层，所述纳米线以分形的形式排布，用于实现纳米线对两个偏振态光的吸收偏振不敏感；在纳米线的基础上添加阵列式纳米天线。所述制备方法包括：用磁控溅射的方法在衬底上溅射一层超导材料；利用光刻与电子束蒸镀相结合的方式制备电极；用电子束曝光和反应离子束刻蚀相配合的方式制备分形纳米线；利用电子束曝光与电子束蒸镀相结合的方式制备纳米天线。本发明减小了超导纳米线单光子探测器的偏振敏感度，使得偏振敏感度小于0.02，两个正交偏振态吸收效率均达到80％，宽谱吸收效率高于70％，且适用于各种超导材料。 | ||
| 申请公布号 | CN105374928A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201510788584.8 | 申请日期 | 2015.11.17 |
| 申请人 | 天津大学 | 发明人 | 胡小龙;顾超;程宇豪;朱晓田;刘海毅 |
| 分类号 | H01L39/00(2006.01)I;H01L39/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L39/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人 | 李林娟 |
| 主权项 | 一种超导分形纳米线单光子探测器，所述单光子探测器包括：衬底、纳米线、纳米天线、氢硅倍半环氧乙烷层以及银反射层，其特征在于，所述纳米线以分形的形式排布，用于实现纳米线对两个偏振态光的吸收偏振不敏感；在纳米线的基础上添加阵列式纳米天线。 | ||
| 地址 | 300072 天津市南开区卫津路92号 | ||