研磨液供应装置和包括研磨液供应装置的抛光设备

摘要

公开了一种研磨液供应装置，包括：喷嘴，构造成喷射研磨液；研磨液供应单元，构造成接收来自所述喷嘴的研磨液并经由至少一个研磨液孔排出研磨液；接收单元，构造成允许研磨液供应单元安装、插入、坐置、联接、支承或放置在其中，以使得能够排出来自研磨液供应单元的研磨液，该接收单元构造成环绕研磨液供应单元接收流动材料；以及研磨液保护单元，构造成与流动材料一起封围用于研磨液从喷嘴的出口到研磨液供应单元的入口穿过的空间。

主权项

一种研磨液供应装置，包括：喷嘴，构造成喷射研磨液；研磨液供应单元，构造成接收来自所述喷嘴的研磨液并经由至少一个研磨液孔排出研磨液；接收单元，构造成允许所述研磨液供应单元安装、插入、坐置、联接、支承或放置在其中，以使得能够排出来自所述研磨液供应单元的研磨液，所述接收单元构造成环绕所述研磨液供应单元接收流动材料；以及研磨液保护单元，构造成与所述流动材料一起封围用于研磨液从所述喷嘴的出口到所述研磨液供应单元的入口穿过的空间。