薄膜厚度的测试方法和装置

摘要

本发明实施例公开了一种薄膜厚度的测试方法和装置，涉及测试领域，能够在保证测试精度的同时，降低测量薄膜的厚度的成本。该薄膜厚度的测试方法包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行测量。

主权项

一种薄膜厚度的测试方法，其特征在于，包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；所述将测试掩膜覆盖在基板的表面上包括：悬浮掩膜的底部和所述基板共同作用，使得所述测试掩膜覆盖在所述基板的表面上；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行对镀膜的厚度进行测量。