正型感射线性组合物、显示元件用层间绝缘膜及其形成方法

摘要

本发明公开了一种正型感射线性组合物，含有：[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基团的结构单元(I)与含环氧基的结构单元(II)的聚合物、[B]硅氧烷聚合物及[C]光酸产生体。[B]硅氧烷聚合物优选为下述式(2)所示的水解性硅烷化合物的水解缩合物。[A]聚合物与[A]聚合物和[B]硅氧烷聚合物的合计量的质量比优选为5质量%以上95质量%以下。

主权项

一种正型感射线性组合物，其含有：[A]在同一或不同的聚合物分子中包含具有下述式(1)所示的基团的结构单元(I)与含环氧基的结构单元(II)的聚合物，[B]硅氧烷聚合物，及[C]光酸产生体，式(1)中，R¹及R²各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基，上述烷基、环烷基以及芳基所具有的一部分或全部氢原子可被取代基所取代，且不存在R¹及R²同时为氢原子的情况；R³是烷基、环烷基、芳烷基、芳基或‑M(R^3m)₃所示的基团，M是Si、Ge或Sn，R^3m各自独立为烷基，又，R¹与R³可连接而形成环状醚结构，其中，R³表示的这些基团所具有的一部分或全部氢原子可被取代，其中[B]硅氧烷聚合物是下述式(2)所示的水解性硅烷化合物的水解缩合物，式(2)中，R⁴是碳原子数1～20的非水解性的有机基；R⁵是碳原子数1～4的烷基；n是0至3的整数；R⁴及R⁵为多个时，多个R⁴及R⁵可各自相同或不同。