表面粗糙度测量装置

摘要

一种表面粗糙度测量装置，其在一个实施例中包括主发射纤维和辅助发射纤维、多个收集纤维、光学壳体、主反射镜和辅助反射镜，以及外部电路。光学壳体包括纤维，并且限定用于光学地接触物体的表面的孔口。主反射镜布置在光学壳体中，用于将从主发射纤维发射的光反射至孔口的检测点，并且将由物体反射的光反射至收集纤维。辅助反射镜布置在光学壳体中，用于将从辅助发射纤维发射的光反射至检测点。外部电路用于生成激光束至主发射纤维和辅助发射纤维，收集来自收集纤维的反射光，并且基于收集的反射光来计算物体的表面粗糙度。

主权项

一种表面粗糙度测量装置，包括：包括主发射纤维和多个收集纤维的纤维束；第一辅助发射纤维；光学壳体，其包括所述纤维束和所述第一辅助发射纤维并且限定用于光学地接触物体的表面的孔口；主反射镜，其布置在所述光学壳体中，用于将从所述主发射纤维发射的光反射至所述孔口的检测点并且将由所述物体反射的光反射至所述多个收集纤维；第一辅助反射镜，其布置在所述光学壳体中，用于将从所述第一辅助发射纤维发射的光反射至所述孔口的检测点；以及外部电路，其用于生成激光束至所述主发射纤维和所述第一辅助发射纤维，收集来自所述多个收集纤维的所述反射光，并且基于所述收集的反射光来计算所述物体的表面粗糙度。