发明名称 |
防尘薄膜组件的制造方法 |
摘要 |
提供用1次成膜工程就可以进行多个的防尘薄膜组件的制造的方法,以及使防尘薄膜的张力均一化,从而在进行防尘薄膜组件制造时,可以防止框架的挠曲和防尘薄膜的折皱的发生的方法。该防尘薄膜组件的制造方法是在被暂时贴附于暂用框21的1张防尘薄膜3上,结合分割框41贴附后,将防尘薄膜3切断,将分割框41分离,在框架上贴附后,将分割框41取掉。 |
申请公布号 |
CN103389617B |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201310167125.9 |
申请日期 |
2013.05.08 |
申请人 |
信越化学工业株式会社 |
发明人 |
关原一敏 |
分类号 |
G03F1/64(2012.01)I;G03F1/62(2012.01)I |
主分类号 |
G03F1/64(2012.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 |
代理人 |
王勇 |
主权项 |
一种防尘薄膜组件的制造方法,其为一种将防尘薄膜在框架上绷紧贴附的防尘薄膜组件的制造方法,其特征在于∶将1张防尘薄膜贴附在暂用框上,将具有比该暂用框的内寸小的外寸的多个并列结合的分割框,与暂用框上的防尘薄膜接着后,在将防尘薄膜沿分割框的外边从暂用框上切离的同时,将结合的分割框分离,各个分割框上接着的防尘薄膜与框架贴附后,将分割框取掉。 |
地址 |
日本东京都 |