发明名称 防尘薄膜组件的制造方法
摘要 提供用1次成膜工程就可以进行多个的防尘薄膜组件的制造的方法,以及使防尘薄膜的张力均一化,从而在进行防尘薄膜组件制造时,可以防止框架的挠曲和防尘薄膜的折皱的发生的方法。该防尘薄膜组件的制造方法是在被暂时贴附于暂用框21的1张防尘薄膜3上,结合分割框41贴附后,将防尘薄膜3切断,将分割框41分离,在框架上贴附后,将分割框41取掉。
申请公布号 CN103389617B 申请公布日期 2016.03.02
申请号 CN201310167125.9 申请日期 2013.05.08
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 关原一敏
分类号 G03F1/64(2012.01)I;G03F1/62(2012.01)I 主分类号 G03F1/64(2012.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 王勇
主权项 一种防尘薄膜组件的制造方法,其为一种将防尘薄膜在框架上绷紧贴附的防尘薄膜组件的制造方法,其特征在于∶将1张防尘薄膜贴附在暂用框上,将具有比该暂用框的内寸小的外寸的多个并列结合的分割框,与暂用框上的防尘薄膜接着后,在将防尘薄膜沿分割框的外边从暂用框上切离的同时,将结合的分割框分离,各个分割框上接着的防尘薄膜与框架贴附后,将分割框取掉。
地址 日本东京都
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