图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括：衬底，具有像素区域和非像素区域，该像素区域包括多个单位像素；在非像素区域中的至少一个第一阱；在衬底的第一面上的互连结构；以及基础阱，在非像素区域中且在第一阱与衬底的第二面之间。

主权项

一种图像传感器，包括：衬底，具有像素区域和非像素区域，该像素区域包括多个单位像素，所述衬底沿厚度方向被分为下部区域和上部区域，所述下部区域具有所述衬底的正面，所述上部区域具有所述衬底的背面；在所述非像素区域中的下部区域中的多个第一阱以及插设在所述第一阱之间的第二阱；在所述衬底的像素区域和非像素区域的下部区域上的互连结构，所述互连结构包括层间电介质层和多个互连；基础阱，在所述多个第一阱与所述衬底的背面之间；以及绝缘层，在所述衬底的所述背面上。