发明名称 双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机
摘要 本发明公开了一种双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机,为解决现有产品精度差、效率低等问题而设计。本发明双摆臂式固晶机焊头机构包括旋转运动驱动装置、第一摆臂、第二摆臂、第一直线运动驱动装置、第二直线运动驱动装置、第一吸嘴、以及第二吸嘴。本发明固晶机包括上述的双摆臂式固晶机焊头机构。本发明双摆臂式固晶机焊头机构控制更直接,精度更高,摆臂运动更平稳、更准确,保证高速工作时不会出现偏心运转的情况。本发明固晶机结构合理,取晶、固晶效果好且效率高,适用于各种半导体元件制造工作中。
申请公布号 CN103367183B 申请公布日期 2016.03.02
申请号 CN201310262893.2 申请日期 2013.06.26
申请人 广东工业大学 发明人 杨志军;白有盾;陈新;高健;陈新度;刘冠峰;李克天;李泽湘;杨海东
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;F16H21/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 胡彬
主权项 一种双摆臂式固晶机焊头机构,其特征在于,所述焊头机构包括旋转运动驱动装置、连接在所述旋转运动驱动装置驱动轴端部上的第一摆臂和第二摆臂、设置在第一摆臂端部的第一直线运动驱动装置、设置在第二摆臂端部的第二直线运动驱动装置、设置在第一直线运动驱动装置驱动轴端部上的第一吸嘴(3)、以及设置在第二直线运动驱动装置驱动轴端部上的第二吸嘴;所述第一摆臂和第二摆臂为同一根摆臂本体(4)上的两段;所述摆臂本体(4)的中部设有连接孔,所述旋转运动驱动装置驱动轴端部安装在所述连接孔内;所述摆臂本体为一字形柱体,所述摆臂本体以连接孔为中心呈对称结构。
地址 510006 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号广东工业大学