发明名称 |
双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机 |
摘要 |
本发明公开了一种双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机,为解决现有产品精度差、效率低等问题而设计。本发明双摆臂式固晶机焊头机构包括旋转运动驱动装置、第一摆臂、第二摆臂、第一直线运动驱动装置、第二直线运动驱动装置、第一吸嘴、以及第二吸嘴。本发明固晶机包括上述的双摆臂式固晶机焊头机构。本发明双摆臂式固晶机焊头机构控制更直接,精度更高,摆臂运动更平稳、更准确,保证高速工作时不会出现偏心运转的情况。本发明固晶机结构合理,取晶、固晶效果好且效率高,适用于各种半导体元件制造工作中。 |
申请公布号 |
CN103367183B |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201310262893.2 |
申请日期 |
2013.06.26 |
申请人 |
广东工业大学 |
发明人 |
杨志军;白有盾;陈新;高健;陈新度;刘冠峰;李克天;李泽湘;杨海东 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;F16H21/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
胡彬 |
主权项 |
一种双摆臂式固晶机焊头机构,其特征在于,所述焊头机构包括旋转运动驱动装置、连接在所述旋转运动驱动装置驱动轴端部上的第一摆臂和第二摆臂、设置在第一摆臂端部的第一直线运动驱动装置、设置在第二摆臂端部的第二直线运动驱动装置、设置在第一直线运动驱动装置驱动轴端部上的第一吸嘴(3)、以及设置在第二直线运动驱动装置驱动轴端部上的第二吸嘴;所述第一摆臂和第二摆臂为同一根摆臂本体(4)上的两段;所述摆臂本体(4)的中部设有连接孔,所述旋转运动驱动装置驱动轴端部安装在所述连接孔内;所述摆臂本体为一字形柱体,所述摆臂本体以连接孔为中心呈对称结构。 |
地址 |
510006 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号广东工业大学 |