P-DOPED SILICON LAYERS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung p-dotierter Siliciumschichten, insbesondere solcher Siliciumschichten, die aus flüssigen Silan-haltigen Formulierungen hergestellt werden. Die Erfindung betrifft ferner ein mit einer p-dotierten Siliciumschicht beschichtetes Substrat. Des Weiteren betrifft die Erfindung die Verwendung bestimmter Dotierungsmittel auf Basis von BorVerbindungen zur p-Dotierung einer Siliciumschicht.