无机耐高温低红外发射率复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种无机耐高温低红外发射率复合涂层，其为多功能层叠加结构，其由内往外依次包括氧化阻隔层、低发射率功能层以及保护膜，各层间以机械结合和固相扩散连接为主要结合方式，氧化阻隔层为ZnO-Al₂O₃-SiO₂玻璃陶瓷薄膜，低发射率功能层为Pt薄膜，保护膜为TiO₂薄膜；其制备步骤包括：将合金基材进行抛光处理，清洗、烘干；通过射频磁控溅射沉积玻璃陶瓷薄膜，然后通过直流磁控溅射沉积Pt薄膜；最后通过直流磁控溅射反应沉积TiO₂薄膜。本发明的复合涂层产品可在800℃高温环境下连续使用500h以上，发射率和高温稳定性显著改善。

主权项

一种无机耐高温低红外发射率复合涂层，该无机耐高温低红外发射率复合涂层为多功能层叠加结构，其特征在于，该多功能层叠加结构由内往外依次包括氧化阻隔层、低发射率功能层以及保护膜，各层间以机械结合和固相扩散连接为主要结合方式，其中，所述氧化阻隔层为ZnO‑Al₂O₃‑SiO₂玻璃陶瓷薄膜，所述低发射率功能层为Pt薄膜，所述保护膜为TiO₂薄膜；所述氧化阻隔层的厚度为3.0μm～5.0μm，所述低发射率功能层的厚度为1.0μm～3.0μm，所述保护膜的厚度为0.5μm～1.0μm；制备所述氧化阻隔层时用到的靶材中ZnO、Al₂O₃、SiO₂、BaCO₃、CaO、TiO₂、Co₂O₃的质量比为25.0～29.0∶27.0～31.0∶30.0～38.0∶3.0～4.0∶2.0～4.0∶1.75～3.85∶0.15～0.25。