采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

摘要

一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。

主权项

一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，所述方法采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置实现的，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台、二维高精度定位平台控制器、控制计算机、AFM控制器和控制电脑，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上；二维高精度定位平台控制器与X方向精密工作台和Y方向精密工作台相连，控制计算机与二维高精度定位平台控制器相连，原子力显微镜与AFM控制器和控制电脑依次连接；所述X方向精密工作台与Y方向精密工作台都是毫米尺度、纳米级定位精度的位移台；其特征在于所述方法步骤如下：AFM探针在设定的区域连续扫描加工，一次扫描结束后回到初始位置继续重复上一次的扫描，同时X方向精密工作台在加工方向以同一速度运动，通过对AFM探针进给方向扫描速度与X方向精密工作台运动速度的设定和匹配，实现底面阶梯结构的纳米通道的加工。