PLASMA EROSION RESISTANT RARE-EARTH OXIDE BASED THIN FILM COATINGS
摘要
물품은 바디, 및 바디의 적어도 하나의 표면 상의 적어도 하나의 보호층을 포함한다. 적어도 하나의 보호층은 YAlO, YAlO, ErO, GdO, ErAlO, GdAlO및 YAlO및 YO-ZrO의 고용체를 포함하는 세라믹 컴파운드로 이루어진 군으로부터 선택된 세라믹을 포함하는 대략 20 마이크론 미만의 두께를 갖는 박막이다.
申请公布号
KR20160022361(A)
申请公布日期
2016.02.29
申请号
KR20167001522
申请日期
2014.06.19
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
SUN JENNIFER Y.;KANUNGO BIRAJA P.;FIROUZDOR VAHID;CHO TOM
