发明名称 Verfahren zum Erzeugen einer transparenten Elektrode eines optoelektronischen Bauelementes
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer transparenten Elektrode eines optoelektronischen Bauelementes, folgende Verfahrensschritte aufweisend: Bereitstellen eines Substrats; Erzeugen einer strukturierten Metallschicht mittelbar oder unmittelbar auf dem Substrat; welches dadurch gekennzeichnet ist, dass in Verfahrensschritt B in einem Verfahrensschritt B1 eine Metallschicht mit einer Dicke im Bereich 2 nm bis 100 nm mittelbar oder unmittelbar auf das Substrat aufgebracht wird und in einem Verfahrensschritt B2 die Metallschicht an mehreren Entfernungsbereichen mittels Strahlungseinwirkung wieder entfernt wird.
申请公布号 DE102014216792(A1) 申请公布日期 2016.02.25
申请号 DE201410216792 申请日期 2014.08.22
申请人 EWE-FORSCHUNGSZENTRUM FÜR ENERGIETECHNOLOGIE E. V. 发明人 THEURING, MARTIN
分类号 H01L31/18;H01L33/42 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
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