Optisches Element mit einer Beschichtung zur Beeinflussung von Heizstrahlung und optische Anordnung

摘要

Die Erfindung betrifft ein optisches Element (1), umfassend: ein Substrat (2), eine an einer ersten Seite (2a) des Substrats (2) angebrachte erste Beschichtung (3), die zur Reflexion von Strahlung (5) mit einer Nutzwellenlänge (λEUV) im EUV-Wellenlängenbereich ausgebildet ist, sowie eine an einer zweiten Seite (2b) des Substrats (2) angebrachte zweite Beschichtung (4) zur Beeinflussung von Heizstrahlung (9, 11, 13), die auf die zweite Seite (2b) des Substrats (2) eingestrahlt wird. Die Erfindung betrifft auch eine optische Anordnung mit mindestens einem solchen optischen Element (1).