具有辅助频率和次谐波变量的RF阻抗匹配网络

摘要

本公开的实施例可以用于物理气相沉积的匹配网络。匹配网络可以包括通过具有第一调谐电路的第一阻抗匹配网络耦合至沉积腔室靶的第一RF发生器。第一RF发生器可以被配置为向沉积腔室靶引入第一AC信号。匹配网络还可以包括通过第二阻抗匹配网络耦合至沉积腔室基座的第二RF发生器。第二RF发生器可以被配置为向沉积腔室基座引入第二AC信号。第一调谐电路可以被配置为修改在沉积腔室靶和沉积腔室基座之间形成的等离子体上的第二AC信号的影响。

主权项

一种用于物理气相沉积的匹配网络，包括：第一RF发生器，通过具有第一调谐电路的第一阻抗匹配网络耦合至沉积腔室靶，其中所述第一RF发生器被配置为向所述沉积腔室靶引入第一AC信号，所述第一调谐电路包括电压/电流探针；以及第二RF发生器，通过第二阻抗匹配网络耦合至沉积腔室基座并且被配置为向所述沉积腔室基座引入第二AC信号，其中所述第一调谐电路被配置为改变所述第二AC信号对在所述沉积腔室靶和所述沉积腔室基座之间形成的等离子体的影响，以及其中所述电压/电流探针包括：电压传感器，被配置为通过设置在所述第一阻抗匹配网络的输出端处的RF杆感测AC信号的电压；均方根DC电压转换器，经由低通滤波器、衰减器和过冲箝位器耦合至电压传感器，其中所述均方根DC电压转换器被配置为将滤波、衰减和箝位的AC电压转换成DC电压；以及缓冲电压放大器，经由DC缩放电路和偏置调节电路耦合至所述电压转换器，其中所述缓冲电压放大器被配置为输出电压幅值信号。