一种周期性孔阵列结构的等离激元传感器

摘要

本实用新型公开了一种周期性孔阵列结构的等离激元传感器，包括金属膜，所述金属膜上均匀排列设置有N个周期的单位孔阵列结构，每个周期的单位孔阵列结构为在金属膜的中心处开设有一中心孔，在中心孔的外部对称设有一对连接孔，所述连接孔均通过刻蚀于金属膜上的纳米狭缝与中心孔相连接，且中心孔、连接孔和纳米狭缝一体成型并贯通于金属膜的上下表面，在中心孔、连接孔及纳米狭缝的内部空间填充有介质层，其中所述N≥2的正整数。本实用新型通过周期孔阵列结构及加入纳米狭缝技术，使制得传感器与现有技术相比，具有光透射率高、体积小巧、制作简单的特点。

主权项

一种周期性孔阵列结构的等离激元传感器，包括金属膜(1)，所述金属膜(1)上均匀排列设置有N个周期的单位孔阵列结构，其特征在于：每个周期的单位孔阵列结构为在金属膜(1)上开设有一中心孔，在中心孔的外部对称设有一对连接孔，所述连接孔均通过刻蚀于金属膜(1)上的纳米狭缝(4)与中心孔相连接，且中心孔、连接孔和纳米狭缝(4)一体成型并贯通于金属膜(1)的上下表面，在中心孔、连接孔及纳米狭缝(4)的内部空间填充有介质层，其中所述N≥2的正整数。