薄板支撑治具

摘要

本发明提供一种薄板支撑治具，用以支撑薄板，包含主框架、支撑垫、连接架，及至少二弹性支撑体，主框架具有四个边架，围绕一中空区域，支撑垫从边架内壁向中空区域延伸，每一支撑垫上设置固定销以对应于薄板上的固定孔，连接架设置于边架上的凹槽处，每一弹性支撑体的由两连接架固定，至少将二弹性支撑体交叉排列横跨该中空区域以弹性地支撑薄板，藉此，能提升整块薄板的利用率、减少药水的残留、减少刮伤而提升了良率，并能利用现有的设备，而无须购买新的夹具，大幅减少了设备成本，并能增加制程弹性及产率，在电镀时更能使电流密度均匀化。

主权项

一种薄板支撑治具，用以支撑一薄板，其特征在于，包含：一主框架，为一矩形中空框架，具有四边架，围绕一中空区域；多个支撑垫，从所述边架的内壁向该中空区域延伸，且每一支撑垫上设置一固定销，所述固定销的位置对应于该薄板上的多个固定孔；多个连接架，设置于所述边架上的多个凹槽处；以及至少二弹性支撑体，每一弹性支撑体的每一个由两个该连接架所固定，而该至少二弹性支撑体交叉排列横跨该中空区域，弹性地支撑该薄板，其中该主框架、所述支撑垫以及所述连接架连结为一体，且是由一耐酸碱材料所制成，各该支撑垫包含一第一部分及一第二部分，该第一部分及该第二部分的高度都小于该边架的高度，该第一部分从该边架延伸出，该第二部分与该第一部分连接，且该第二部分的高度较该第一部分为高，且在该第二部分上设置该固定销，该固定销由圆锥状的一上部分，以及圆柱状的一下部分所组成，而在该下部分中具有一凹槽，藉由该凹槽将该薄板固定，且使该薄板的各处维持在同一水平。