发明名称 基板積層システムおよび方法
摘要 A method for laminating substrates may include disposing a pressure-sensitive adhesive layer (103) between a substantially planar surface of a first substrate (101) and a substantially planar surface of a second substrate (102), disposing the first substrate, the pressure-sensitive adhesive layer, and the second substrate within a vacuum chamber (110), evacuating the vacuum chamber, and applying a pressure to at least one of the first substrate and the second substrate.
申请公布号 JP5869172(B2) 申请公布日期 2016.02.24
申请号 JP20150116716 申请日期 2015.06.09
申请人 ロックウェル・コリンズ・インコーポレーテッド 发明人 バーニッジ、 トレイシー ジェイ.;ネメト、 ポール アール.;サンピカ、 ジェイムズ ディー.;マーゼン、 ヴィンセント ピー.;チョン、 ジョセフ エル.
分类号 B32B37/00;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/683;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04 主分类号 B32B37/00
代理机构 代理人
主权项
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