发明名称 |
探针的清洁方法及探针清洁装置 |
摘要 |
一种探针清洁装置以及探针的清洁方法,其中,探针的清洁方法包括:提供待清洁的探针;采用清针片对所述待清洁的探针进行第一清洁处理;采用毛刷对所述待清洁的探针进行第二清洁处理;对所述待清洁的探针进行第三清洁处理,所述第三清洁处理为对所述待清洁的探针进行抽气处理;所述第一清洁处理、第二清洁处理和第三清洁处理为同时进行。本发明提高了探针清洁的效率,增强去除杂质的能力,缩短了探针清洁的时间,从而改善了晶圆测试结果的准确性和可靠性,缩短晶圆测试的时间,提高了生产效率。 |
申请公布号 |
CN103878150B |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201410078912.0 |
申请日期 |
2014.03.05 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
王善屹 |
分类号 |
B08B7/04(2006.01)I |
主分类号 |
B08B7/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种探针清洁装置,其特征在于,包括:腔体;所述腔体的底部设有清针片,所述清针片用于去除探针针尖尖端的杂质;所述清针片以外的腔体侧壁设有毛刷,所述毛刷用于去除探针针尖尖端以外区域的杂质,其中,所述清针片和毛刷适于同时对探针进行清洁;所述清针片以外的腔体侧壁设有一个或多个吸孔,所述吸孔通过管道与吸气阀连接,并连接至集尘装置中。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |