模块化、可扩展型MEMS惯性测量单元

摘要

本发明公开了一种模块化、可扩展型MEMS惯性测量单元，用于解决现有MEMS惯性测量单元实用性差的技术问题。技术方案是包括框架、敏感模块、计算机模块、垫柱、外壳和螺钉。所述的框架由底座和正方体支架构成，正方体支架的下边框与底座固连，正方体支架的四个侧框各固定四块敏感模块。正方体支架的底框固定一块敏感模块。正方体支架的顶框固定一块计算机模块。顶框与底框之间固定一块敏感模块，垂直方向的模块之间使用垫柱隔开，计算机模块通过螺钉与最上方垫柱的螺纹孔紧固。外壳上的接插件与计算机模块电气连接后固定在框架的底座上。本发明通过模块化设计，满足了MEMS器件可扩展的性能需求，而且结构简单、布局紧凑、标准化程度高。

主权项

一种模块化、可扩展型MEMS惯性测量单元，其特征在于：包括框架(1)、敏感模块(2)、计算机模块(3)、垫柱(4)、外壳(5)和螺钉(6)；所述的框架(1)由底座和正方体支架构成，正方体支架的下边框与底座固连，正方体支架用于固定敏感模块(2)和计算机模块(3)；正方体支架的四个侧框通过螺钉(6)和相应的安装孔(7)各固定四块敏感模块(2)；正方体支架的底框通过螺钉(6)和相应的安装孔(7)固定一块敏感模块(2)；正方体支架的顶框通过螺钉(6)和相应的安装孔(7)固定一块计算机模块(3)；正方体支架的顶框和底框之间，平行于顶框上的计算机模块(3)和底框上的敏感模块(2)之间固定一块敏感模块(2)，底框上的敏感模块(2)与中间的敏感模块(2)、中间的敏感模块(2)与顶框上的计算机模块(3)之间使用垫柱(4)隔开，垫柱(4)位于敏感模块(2)和计算机模块(3)的四个角，计算机模块(3)通过螺钉(6)与最上方垫柱(4)的螺纹孔进行紧固；外壳(5)上的接插件与计算机模块(3)电气连接后固定在框架(1)的底座上。