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发明名称 OPTICAL MICROSCOPE VARIABLE IN NUMERICAL APERTURE OF OBJECTIVE
摘要
申请公布号 JPH10206741(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970020107 申请日期 1997.01.17
申请人 TOKYO KOKU KEIKI KK 发明人 SAITO YOSHIMI
分类号 G02B21/00;G02B21/06;H01L21/66;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
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