具有窗口的化学机械抛光层的制造方法

摘要

具有窗口的化学机械抛光层的制造方法。提供一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：提供模具；提供衬套；提供衬套粘合剂；提供窗口块；提供窗口粘合剂；提供可固化材料；提供喷嘴；提供切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。

主权项

一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：提供模具，所述模具具有模基体和连接到模基体的环绕壁；提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套；提供衬套粘合剂；提供窗口块；提供窗口粘合剂；提供包括液体预聚物和多个微元件的可固化材料；提供具有喷嘴开口的喷嘴；提供具有切削刃的切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中，其中，衬套的上部表面限定出模腔的水平内边界，模具的内部水平边界沿着x‑y平面取向，模腔的中心轴C_axis垂直于x‑y平面，并且模腔具有环形孔区域和环形区域；其中加料时间段CP被分为初始阶段、过渡阶段和剩余阶段三个独立阶段；其中喷嘴开口具有一位置，在加料时间段CP中喷嘴开口的位置相对于模基体沿着模腔的中心轴C_axis移动以在可固化的材料集聚在模腔中时保持喷嘴开口的位置在模腔中的可固化材料的上表面以上；在整个初始阶段喷嘴开口的位置位于环形孔区域；在过渡阶段喷嘴开口的位置从位于环形孔区域过渡到位于环形区域；以及在剩余阶段喷嘴开口的位置位于环形区域；使可固化材料在模腔中固化成饼状，其中，可固化的材料以足够的强度结合至衬套从而在饼切片过程中固化的饼不从衬套剥离；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。