一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜

摘要

本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。提供一种能够将其测量值直接溯源到米定义国家基准的标准的电子显微镜。

主权项

一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，其特征在于，包括高速纳米位移扫描台、二维激光干涉仪和超声电机粗调位移台：所述超声电机粗调位移台固定所述高速纳米位移扫描台，所述高速纳米位移扫描台上设置样品台和电镜电子枪的极靴；所述二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；电子显微镜的电子枪发射电子束到样品表面，产生的二次电子被电镜接收器接收，高速纳米台驱动样品高速扫描；所述超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。