发明名称 FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION METHOD FOR PRODUCING FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION
摘要 본 발명은 세퍼레이터; 및 각각 다이싱 테이프 및 상기 다이싱 테이프 상에 적층된 접착제 층을 포함하고 상기 접착제 층이 상기 세퍼레이터에 접착하는 방식으로 상기 세퍼레이터 상에 소정의 간격으로 적층되는 복수의 접착제 층-부착된 다이싱 테이프를 포함하는 반도체 장치 제조용 필름으로서, 상기 세퍼레이터는 상기 다이싱 테이프의 바깥 둘레를 따라 형성된 절입부를 갖고 상기 절입부의 깊이는 상기 세퍼레이터 두께의 2/3 이하인 반도체 장치 제조용 필름에 관한 것이다.
申请公布号 KR101596199(B1) 申请公布日期 2016.02.22
申请号 KR20150055254 申请日期 2015.04.20
申请人 닛토덴코 가부시키가이샤 发明人 다카모토 나오히데;시가 고지;아사이 후미테루
分类号 H01L21/683;H01L21/78 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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