发明名称 感测器、半导体基板,以及半导体基板之制造方法
摘要 明提供一种感测器,系具备包含矽的基底基板、设置于基底基板的上方的晶种体、以及与晶种体晶格匹配或拟晶格匹配且由吸收光或热生成载子的3至5族化合物半导体所构成的光热吸收体,光热吸收体系依入射至光热吸收体的入射光或对光热吸收体所施加的热而输出电信号者。此外,本发明亦提供一种半导体基板,系具备包含矽的基底基板、形成于基底基板的上方且具有使基底基板的表面露出的开口并可阻碍结晶成长的阻碍体、设置于开口内部的晶种体、以及与晶种体晶格匹配或拟晶格匹配且由吸收光或热生成载子的3至5族化合物半导体所构成的光热吸收体。
申请公布号 TWI523210 申请公布日期 2016.02.21
申请号 TW099118120 申请日期 2010.06.04
申请人 独立行政法人产业技术总合研究所 发明人 秦雅彦;高田朋幸;山中贞则;板谷太郎
分类号 H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项 一种感测器,系具备包含矽的基底基板、设置于前述基底基板的上方的晶种体、以及与前述晶种体晶格匹配或拟晶格匹配且由吸收光或热生成载子的3至5族化合物半导体所构成的光热吸收体,前述光热吸收体系依入射至前述光热吸收体的入射光或对前述光热吸收体所施加的热而输出电信号者,其中,复具备形成于前述基底基板的上方且具有使前述基底基板的至少一部份区域露出的开口并可阻碍结晶成长的阻碍体,前述晶种体系形成于前述开口的内部,且其中,前述晶种体系由Cx2Siy2Gez2Sn1-x2-y2-z2(0≦x2<1、0≦Y2≦1、0≦z2≦1,且0<x2+y2+z2≦1)所构成,邻接于前述基底基板和前述晶种体的界面在前述基底基板内复包含组成为Cx2Siy2’Gez2Sn1-x2-y2-z2(0≦x2<1、0<y2’≦1、0≦z2≦1、0<x2+y2+z2≦1,且y2<y2’<1)的界面区域。
地址 日本