探针装置

摘要

明关于一种探针装置，系提供一种能够以晶圆层级来确实地测量功率元件的静态特性及动态特性(开关特性)之探针装置。本发明之探针装置具有：可移动的载置台，系用以载置复数地形成有含有二极体的功率元件之半导体晶圆；探针卡，系配置于载置台上方；量测部，系在导通至少形成于载置台的上面之导体膜与形成于半导体晶圆内面之导体层之状态下，使探针与半导体晶圆电性接触，而以晶圆层级来测量功率元件的电气特性；其中系于探针卡的外周缘部设置有导通接脚，而于以晶圆层级来测量功率元件的电气特性时，透过导通接脚来将载置台的导体膜电极(集极电极)与量测部加以电连接。

主权项

一种探针装置，系具备有：可移动的载置台，系用以载置复数地形成有含有二极体的功率元件之被检查体；探针卡，系具有配置于该载置台上方之复数探针；及量测部，系在导通形成于该载置台的载置面及周围面之导体膜电极与载置于其而形成于该被检查体内面之导体层之状态下，使该探针与该被检查体电性接触，来测量该功率元件的电气特性；其特征在于：系设置有于测量该功率元件的电气特性时，将该载置台的该周围面所形成之该导体膜电极与该量测部加以电连接之导通机构；该导通机构具有：引线导体，其基端部系连接于该载置台的该周围面所形成之该导体膜电极；连接端子，系可自由导通地形成于该引线导体的前端部；导体，系介设于该探针卡与该载置台之间；及致动器，系将该连接端子电连接于该导体，或解除其连接状态。