低温泵

摘要

明提供一种低温泵，其适于氢气等非冷凝性气体的高速排气。低温泵(10)具备：低温板总成(20)，具备在两表面具有吸附区域(48)之复数个低温板；放射屏蔽件(30)，形成包围低温板总成(20)之气体接收空间(50)；及放射罩(32)，配设于吸气口(12)。放射罩(32)具备：主板(52)，配置于在吸气口(12)与低温板总成(20)对应之位置；及百叶窗部(54)，配置于在吸气口(12)与气体接收空间(50)对应之位置。放射罩(32)亦可不具备百叶窗部(54)。

主权项

一种低温泵，其特征为，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域之复数个低温板；放射屏蔽件，形成包围前述低温板总成之气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，且具备：主板，配置于在前述低温泵吸气口与前述低温板总成对应之位置；及百叶窗部，配置于在前述低温泵吸气口与前述气体接收空间对应之位置，前述低温板总成与前述主板之间的距离在5cm以内。