| 摘要 |
본 발명은 집적회로 컴포넌트를 테스트하는 테스트 시스템에서 집적회로 컴포넌트를 접촉하는 방법을 제공하며, 비활성 기체를 포함하는 대기를 제공하는 단계; 및 테스트 시스템의 접촉기의 팁들을 테스트 될 집적회로 컴포넌트의 접촉 영역들 각각과 접촉하는 단계를 포함하며, 접촉하는 단계는 제공된 비활성 기체를 포함하는 대기에서 수행된다. 본 발명은 비활성 기체를 포함하는 대기를 제공하는 수단을 포함하는 집적회로 컴포넌트를 테스트하는 테스트 시스템을 추가적으로 제공하며, 테스트 시스템은 테스트 시스템의 접촉기의 팁들을 테스트 될 집적회로 컴포넌트의 접촉 영역들 각각과 접촉하도록 구성되며, 테스트 시스템은 동작 조건하에서 제공된 대기에서 접촉을 수행하도록 구성된다. |
