| 摘要 |
Sensorvorrichtung (10) zum Messen und/oder Detektieren von Gasen, aufweisend – ein Trägersubstrat (12) mit einer Aussparung (20); – eine erste Elektrode (14) und eine zweite Elektrode (16); und – eine ionenleitfähige Membran (18), welche zwischen der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elektrode (16) angeordnet ist und einen freistehenden Membranabschnitt (26) aufweist, welcher die Aussparung (20) des Trägersubstrats (12) zumindest teilweise überdeckt, gekennzeichnet durch – ein Versteifungselement (28), welches an dem freistehenden Membranabschnitt (26) der ionenleitfähigen Membran (18) angeordnet ist, um diesen mechanisch zu versteifen, wobei das Versteifungselement (28) den freistehenden Membranabschnitt (26) nur teilweise überdeckt. |
