发明名称 Polierschlamm-Zuführungseinrichtung und Poliervorrichtung mit derselben
摘要 Offengelegt wird eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung, die eine Düse aufweist, die zum Ausgeben von Polierschlamm ausgestaltet ist, eine Polierschlamm-Zuführungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, den Polierschlamm aus der Düse aufzunehmen und den Polierschlamm über wenigstens eine Polierschlammöffnung abzuleiten, eine Aufnahmeeinheit, die dazu ausgestaltet ist, dass darin das Befestigen, Einsetzen, Verankern, Halten oder Anordnen ermöglicht werden kann, um so das Ableiten des Polierschlamms aus der Polierschlamm-Zuführungseinheit zu ermöglichen, wobei die Aufnahmeeinheit dazu ausgestaltet ist, ein Fließmaterial um die Polierschlamm-Zuführungseinheit aufnehmen und eine Polierschlamm-Schutzeinheit, die dazu ausgestaltet ist, einen Raum für den Durchfluss des Polierschlamms von einem Düsenausgang zu einem Eingang der Polierschlamm-Zuführungseinheit zusammen mit dem Fließmaterial zu umschließen.
申请公布号 DE102015202984(A1) 申请公布日期 2016.02.18
申请号 DE201510202984 申请日期 2015.02.19
申请人 LG SILTRON INCORPORATED 发明人 BAE, JAE HYUN;HAN, KEE YUN
分类号 B24B57/02;B24B37/04 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
主权项
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