一种新型单晶炉导流筒

摘要

新型单晶炉导流筒，包括导流筒、导流层、直管区、过渡区、扩张区。导流筒至上而下的口径依次增大；导流层设置在导流筒内壁上，增加壁面的光滑度，减少了气体与避免之间的摩擦扰动；直管区、过渡区、扩张区分别位于导流筒的上部、中部、下部。氩气经过这些区域时，流道面积不断增大，流速越来越小，气流波动逐渐减低，同时在导流体内部设置导流层，可以增加壁面的光滑度，减少了气体与避免之间的摩擦扰动，这样氩气流在其中自上而下流动时气流强度减弱，降低了气流产生的湍流几率，减小了单晶硅棒晃动、液面波动等现象，大大提高了单晶炉的工作效率，该装置结构简单，制造方便。

主权项

新型单晶炉导流筒，其特征在于，包括：导流筒、导流层、直管区、过渡区、扩张区。所述的导流筒至上而下的口径依次增大；所述的导流层设置在导流筒内壁上，增加壁面的光滑度，减少了气体与避免之间的摩擦扰动；所述的直管区、过渡区、扩张区分别位于导流筒的上部、中部、下部，氩气经过这些区域时，流道面积不断增大，流速越来越小，气流波动逐渐减低。