发明名称 Nitrogen-Containing Organic Compound, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号 KR100870343(B1) 申请公布日期 2008.11.25
申请号 KR20040086479 申请日期 2004.10.28
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;C07D235/08;C08G65/325;G03C1/73;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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