发明名称 一种热式气体质量流量计
摘要 本实用新型涉及一种热式气体质量流量计,其解决了现有热式气体质量流量计响应速度慢、量程比小、反应时间长、精度低的技术问题,其包括测量杆,测量杆上设有传感器,传感器包括衬底,衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜,长方形测温薄膜位于L形加热薄膜的内侧;衬底上除长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层,其可广泛应用于流量测量技术领域。
申请公布号 CN205037932U 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201520821790.X 申请日期 2015.10.22
申请人 山东贝特智联表计股份有限公司 发明人 于杰;李莹;曲首名;刘海军;陈世云
分类号 G01F1/68(2006.01)I;G01F1/696(2006.01)I 主分类号 G01F1/68(2006.01)I
代理机构 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 代理人 孙小栋;于振强
主权项 一种热式气体质量流量计,包括测量杆,其特征在于,所述测量杆上设有传感器,所述传感器包括衬底,所述衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜,所述长方形测温薄膜位于所述L形加热薄膜的内侧;所述衬底上除所述长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层。
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