| 摘要 |
인라인 방식의 열증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 방식의 열증착 장치는, 챔버의 내부에 마련되되, 유연기판을 공급 및 회수하는 롤투롤 모듈을 구비하여 유연기판을 연속적으로 이송하는 기판 이송유닛; 및 챔버의 내부에 마련되되, 열증착 방식으로 유연기판에 연속적으로 증착물질을 제공하도록 인라인되게 배치된 복수의 증발소스를 포함하며, 롤투롤 모듈은, 롤 형태로 권취된 유연기판을 공급하는 언와인더(unwinder); 언와인더에 이격되게 배치되어, 증착공정이 완료된 유연기판을 롤 형태로 회수하는 리와인더(rewinder); 및 언와인더와 리와인더 사이에 배치되되, 유연기판의 증착물질이 증착된 증착영역 이외의 비증착영역에 접촉되어 유연기판의 이송을 안내하는 복수의 아이들 롤러(idle roller)를 포함한다. |
