发明名称 束流传输系统及其束流传输方法
摘要 本发明公开了一种束流传输系统及其束流传输方法,其包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件,所述束流传输系统还包括相互平行地设置于束流传输路径两侧的一第一杆状永磁铁与一第二杆状永磁铁,所述第一杆状永磁铁和第二杆状永磁铁的N极和S极的连线方向与所述第一杆状永磁铁的长度方向相同,并且设置有一个或多个相互独立的第一线圈组,每个所述第一线圈组均具有两个第一线圈,其中每个所述第一线圈组的两个第一线圈分别设置于所述第一杆状永磁铁和所述第二杆状永磁铁的长度方向上的相同位置。本发明的束流传输系统及其束流传输方法中采用一对永磁铁来节省能源,而且减少了外部对束流传输系统的影响因素,提高了可靠性。
申请公布号 CN102856147B 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201110177716.5 申请日期 2011.06.28
申请人 上海凯世通半导体有限公司 发明人 钱锋
分类号 H01J37/317(2006.01)I;H01J37/147(2006.01)I 主分类号 H01J37/317(2006.01)I
代理机构 上海弼兴律师事务所 31283 代理人 薛琦;朱水平
主权项 一种束流传输方法,其特征在于,该束流传输系统包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件,所述束流传输系统还包括相互平行地设置于束流传输路径两侧的一第一杆状永磁铁与一第二杆状永磁铁,所述第一杆状永磁铁的N极和S极的连线方向与所述第一杆状永磁铁的长度方向相同,所述第二杆状永磁铁的N极和S极的连线方向也与所述第二杆状永磁铁的长度方向相同,并且在所述第一杆状永磁铁和第二杆状永磁铁上设置有一个或多个相互独立的第一线圈组,每个所述第一线圈组均具有两个第一线圈,其中每个所述第一线圈组的两个第一线圈分别设置于所述第一杆状永磁铁和所述第二杆状永磁铁的长度方向上的相同位置,该束流传输方法包括以下步骤:S<sub>101</sub>、使所述第二杆状永磁铁的N极和S极的连线方向与所述第一杆状永磁铁的N极和S极的连线方向相同或相反,所述束流出射装置发射束流;S<sub>102</sub>、分别调整各个所述第一线圈组的电流方向和电流大小,从而将经过所述第一杆状永磁铁与所述第二杆状永磁铁所在平面的束流,沿所述第一杆状永磁铁和所述第二杆永磁铁的中心的连线方向,相对于束流传输路径的第一偏转角度,以及沿平行于所述第一杆状永磁铁和所述第二杆状永磁铁的中线的方向,相对于束流传输路径的聚焦或发散角度进行微调;S<sub>103</sub>、将经过偏转、聚焦或发散的束流注入目标工件。
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