DISPLAYS WITH SILICON AND SEMICONDUCTING OXIDE THIN-FILM TRANSISTORS

摘要

전자 디바이스는 기판 상에 디스플레이 픽셀들의 어레이를 갖는 디스플레이를 포함할 수 있다. 디스플레이 픽셀들은 유기 발광 다이오드 디스플레이 픽셀들 또는 액정 디스플레이의 디스플레이 픽셀들일 수 있다. 유기 발광 다이오드 디스플레이에서, 반도체성 산화물 박막 트랜지스터, 실리콘 박막 트랜지스터 및 커패시터 구조체들을 포함하는 하이브리드 박막 트랜지스터 구조체들이 형성될 수 있다. 커패시터 구조체들은 반도체성 산화물 박막 트랜지스터들과 중첩할 수 있다. 유기 발광 다이오드 디스플레이 픽셀들은 산화물 및 실리콘 트랜지스터들의 조합들을 가질 수 있다. 액정 디스플레이에서, 디스플레이 구동 회로는 실리콘 박막 트랜지스터 회로를 포함할 수 있고, 디스플레이 픽셀들은 산화물 박막 트랜지스터들에 기초될 수 있다. 게이트 금속의 단일 층 또는 2개의 상이한 층들이 실리콘 트랜지스터 게이트 및 산화물 트랜지스터 게이트의 형성 시에 사용될 수 있다. 실리콘 트랜지스터는 플로팅 게이트 구조체와 중첩하는 게이트를 가질 수 있다.