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经营范围
发明名称
在工件上进行切割操作之方法
摘要
申请公布号
TWI483803
申请公布日期
2015.05.11
申请号
TW102123072
申请日期
2013.06.27
申请人
圣高拜磨料有限公司;圣高拜磨料公司
发明人
哲威;珍恩 亚凡缇;亚可纳 克里斯多夫;田应刚;雷里格 保罗 W
分类号
B23P5/00;H01L21/304
主分类号
B23P5/00
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
一种在工件上进行切割操作之方法,该方法包括:提供研磨物品,该研磨物品包括:具有长形本体的衬底;覆盖该衬底的黏合层;包含在该粘合层内的第一类型的磨料颗粒;以及黏结层,其覆盖该第一类型的磨料颗粒及该第二类型的磨料颗粒中一者之至少一部分及该黏合层;其中该黏合层之平均厚度为该第一类型的磨料颗粒及第二类型的磨料颗粒之总平均粒度之至少约11%及不大于约80%;使该研磨物品与工件相对于彼此移动,其中该工件包含选自由以下所构成之群的材料:陶瓷、半导体材料、绝缘材料、玻璃、天然材料、有机材料以及其组合。
地址
法国
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