| 摘要 |
기판 반송 장치에 의한 기판의 반송 중에 기판에 열처리를 실시하는 열처리부의 온도 센서의 고장 등에 기인하는 상정 외의 온도의 기판을 판정할 수 있는 구조를 가지는 기판 반송 장치에 설치되는 기판 반송 암을 제공하는 것이다. 기판 반송 암(11)에 구비된 기판 보지 부재(12)는 기판 반송 암(11)과 기판 보지 부재(12)를 고정하기 위한 고정 나사(18)와, 기판의 단면(端面)에 접촉하여 기판의 이탈을 규제하는 규제면(12a)과, 규제면(12a)으로부터 이격된 위치에서 기판의 이면을 지지하는 기판 이면 지지부(15)와, 기판 이면 지지부(15)에 설치되고, 기판 보지 부재(12)에 보지된 기판의 온도를 검출하는 온도 센서(70)와, 온도 센서(70)와 고정 나사(18)를 접속시키는 배선(80)으로 구성된다. |
