发明名称 誘電体積層薄膜
摘要
申请公布号 JP5862364(B2) 申请公布日期 2016.02.16
申请号 JP20120039135 申请日期 2012.02.24
申请人 TDK株式会社 发明人 柴田 誠;佐々木 権治;矢野 義彦;岩塚 信治
分类号 C30B29/30;C01G33/00;C23C14/08;C23C14/34;H01L41/18;H01L41/187;H01L41/319;H01L41/39;H03H3/08;H03H9/25 主分类号 C30B29/30
代理机构 代理人
主权项
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