发明名称 RESIN-BOND WIRE SAW
摘要 절단 성능이 양호하고 긴 수명의 레진 본드 와이어 쏘를 제공한다. 노볼락형 페놀수지와 레졸형 페놀수지와 아민계 실란 커플링제를 포함하는 레진 본드에 의해, 와이어의 표면에 연마용 입자가 고정된 레진 본드 와이어 쏘. 레진 본드는, MALDI-TOF-MS법에 의한 질량 분석에 있어서, 양이온에, 프라그먼트를 표시하는, 208(m/z) 간격의 복수의 피크를 나타내고, TG-DTA법에 의한 시차열 분석에 있어서, 175℃~182℃에 연화점에 상당하는 피크를 나타낸다.
申请公布号 KR101594747(B1) 申请公布日期 2016.02.16
申请号 KR20157011316 申请日期 2013.12.04
申请人 가부시키가이샤 티케이엑스 发明人 이케우치 마사히코;엔도 다다시
分类号 B23D61/18;B24B3/28;B24B27/06;H01L21/304;H01L21/78 主分类号 B23D61/18
代理机构 代理人
主权项
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