发明名称 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材
摘要 A powder comprising rare earth element fluoride particles having an aspect ratio of up to 2, an average particle size of 10-100 μm, a bulk density of 0.8-1.5 g/cm3, and a carbon content of 0.1-0.5 wt % is amenable to atmospheric plasma spraying. An article obtained by spraying the rare earth fluoride spray powder to a substrate undergoes few partial color changes and performs well even when used in a halogen gas plasma.
申请公布号 JP5861612(B2) 申请公布日期 2016.02.16
申请号 JP20120238894 申请日期 2012.10.30
申请人 信越化学工業株式会社 发明人 浜谷 典明;前田 孝雄;高井 康
分类号 C23C4/04;H01L21/3065 主分类号 C23C4/04
代理机构 代理人
主权项
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