| 摘要 |
본 발명의 진공 처리 장치는, 진공 용기 내에서 기판 지지부(41)에 지지된 기판의 처리면에 대향하여 설치된 가열부(24)와, 기판 지지부(41)에 지지된 기판의 이면에 대향하여 설치된 냉각부(25)와, 가열부(24)에 의해 기판을 가열 처리할 때 기판과 냉각부(25)의 사이의 소정 위치에 배치됨으로써 기판의 중심부와 외주 부분의 온도차를 저감시키기 때문에, 기판의 외주 부분의 온도를 보정하는 온도 보정부(45)와, 온도 보정부(45)를 소정 위치로부터 퇴피시키는 보정부 이동 장치(49)를 구비한다. |
