FAST VACUUM VARIABLE CAPACITOR

摘要

진공 가변 커패시터(1)는 벨로즈(11)에 걸친 압력차를 감소시키기 위한 사전-진공 인클로저(21)를 포함하며, 구동 수단(34; 40)은 진공 가변 커패시터(10)의 전극들(2; 21) 외부에 배치된다. 이로 인해, 구동 시스템에 대한 진공력 부하가 감소될 수 있어서, 이동가능 전극(7)의 이동이 보다 빠르게 되고 , 진공 가변 커패시터(1)의 커패시턴스 조절이 보다 빠르게 되며 그리고 디바이스의 수명이 보다 길어진다.